化学气相沉积加工 化学气相沉积 拉奇纳米镀膜设备

arylene符合ISO-10993生物试验要求

Parylene符合FDA G95-1

Parylene符合（RoHS）2002/95/EC

生物兼容性和生物稳定性

的防化学物、防潮、绝缘及防电子阻隔性能、较好的机械强度，耐用且附着良好

微米级涂层厚度均匀可控，可控制厚度降低500A

干膜润滑性

优异的的疏水性能

良好光学性能

本身无毒，无副产物

当前，在我国使用的镀膜玻璃主要有以下几种方式生产：　　　

1．电子蒸发镀膜机：利用热蒸发器的真空镀膜机生产镀膜玻璃，因整体生产是断续进行的，清洗后的部分玻璃常常需在车间中等待一段时间后方可进行镀膜室镀膜。

当前，在我国使用的镀膜玻璃主要：

1．真空蒸发镀膜：利用热蒸发器的真空镀膜机生产镀膜玻璃，因整体生产是断续进行的，清洗后的部分玻璃常常需在车间中等待一段时间后方可进行镀膜室镀膜，此时，玻璃会受到二次污染，致使被污染部分镀上的膜层易脱落，膜层的均匀性差，等离子化学气相沉积，易有彩虹色差及反射率偏高，并且玻璃只镀一层膜，极易在空气中变色且不能生产大规格玻璃。因此，建设部作出明确规定，化学气相沉积技术，此类镀膜玻璃不易作幕墙玻璃。

真空镀膜技术一般分为两大类，即物理气相沉积（PVD）技术和化学气相沉积（CVD）技术。物理气相沉积技术是指在真空条件下，利用各种物理方法，将镀料气化成原子、分子或使其离化为离子，化学气相沉积，直接沉积到基体表面上的方法。制备硬质反应膜大多以物理气相沉积方法制得，化学气相沉积加工，它利用某种物理过程，如物质的热蒸发，或受到离子轰击时物质表面原子的溅射等现象，实现物质原子从源物质到薄膜的可控转移过程。