真空镀膜机日常维护保养
3、扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，LH320气相沉积设备，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，气相沉积设备价格，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。
方法：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。
镀膜设备的镀膜方式：离子镀，蒸发镀，溅射镀
(1)镀膜设备的特点： 成膜速度快0.1- 50um/min，设备比较简单，操作容易;制得薄膜纯度高;薄膜生长机理较简单。
镀膜设备镀出的产品掉膜是怎么回事?
一、产品表面洁净度不够，H750气相沉积设备，离子源清洗气放大时间长点。
二、清洗是否有加了清洗剂，南头气相沉积设备，或者更换了清洗剂，建议用纯水先试一下。
三、工艺参数是否有变动在膜厚和电流上可以做点调整。
采用真空镀膜机物理气相镀(简称PVD，亦称真空镀)生产出外观和防腐性的五金配件。采用真空镀膜机真空镀膜具有附着力强、镀层不易脱落；绕射性好，镀层厚度均匀；镀层致密，针孑L气泡少；镀前易处理，工艺简单；用料省，无公害等优点。可在金属或非金属表面上镀制单质、合金或化合物。曾广泛用于航空、宇航、电子和光学等工业部门中制备各种特殊性能的镀层。
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