真空镀膜机如何选型选用真空泵时，化学气相沉积设备品牌，需要注意下列事项：
真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。
如:真空镀膜机要求1x10-5mmHg的真空度， 选用的真空泵的真空度至少要5x10-6mmHg.真空镀膜机对于真空度的极限要求和工作压力强度要求越来越大，对真空泵的抽真空能力要求就越高，通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
镀膜产品介绍
磁性元件/小金属元件
1、铁氧体磁芯
2、钕铁硼
3、小金属零部件（小弹片、小弹簧、小钢片）
作用：绝缘、防锈、卷线保护
Parylene超薄透明的涂覆为磁体和铁氧磁芯提供优良的介电特性。与工业标准涂层相比，封开化学气相沉积设备，它的介电常数和损耗因子较低，而介电强度较高。粘结钕铁硼元件非常脆弱，Parylene涂层的另一个优点是提高强度。各种金属、磁性、钕铁硼材料容易受大气湿度腐蚀，而Parylene的透水性极低，能够保护元件免受腐蚀。
无论监控仪精度怎样，它也只能控制真空室里单点位置的膜厚，一般来讲是工件架的中间位置。如果真空电镀设备此位置的膜厚不是均匀的，那么远离中心位置的基片就无法得到均匀的厚度。虽然屏蔽罩能消除表现为长期的不均匀性，但有些膜厚度的变化是由蒸发源的不稳定或膜材的不同表现而引起的，所以几乎是不可能消除的，但对真空室的结构和蒸发源的恰当选择可以使这些影响较小。
Parylene是美国Union Carbide Co.公司在六十年代推出的一种气相沉积高分子聚合物材料，多功能化学气相沉积设备，由的真空气相沉积工艺制备，能涂敷到各种形状的表面，号称“无孔不入”，金属化学气相沉积设备，被业内称为好的防潮、防霉、防腐、防盐雾的特殊防护涂层。Parylene可分为N型、C型、D型、F型、HT型等多种类型
现在，系统的平均尺寸规格已经在降低，而应用小规格设备进行光学镀膜的生产也已经转变成为纯技术问题。
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