对于真空镀膜机设备而言,真空泵是获得真空环境不可缺少的一部分,制造商每次制造真空镀膜设备时都会搭配一个或多个真空泵。
真空镀膜机在选择如何选择真空泵时,电子纳米镀膜设备厂,应注意以下事项:
1.真空泵的工作压力必须满足真空设备的极限真空和工作压力要求。
2.正确地选择真空泵的工作压力。每种泵都有一定的工作压强范围,
3.真空泵在工作压力下,应能排出真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4.真空泵的正确组合有选择性吸入,所以有时选择一种泵也不能满足进气要求,必须与几种泵结合,互相补充,电子纳米镀膜设备价格,才能满足进气要求。
真空镀膜机组成结构是怎样的?一台完整的真空镀膜机是由多部分系统组成的,电子纳米镀膜设备工厂,每个系统可以完成不同的功能。
真空镀膜机的主体是真空腔,真空腔大小是由加工产品所决定,它的大小能定制,腔体一般是用不锈钢材料制作,要求结实耐用不生锈等。真空腔有许多连接阀用来连接各种辅助泵。
抽真空系统是镀膜机真空系统的一个重要组成部分,真空度的高低直接影响产品的镀膜效果,真空度由真空测试系统取得数据。
成膜控制系统能采用不同方式,电子纳米镀膜设备,比如固定镀制时间、目测、监控以及水晶震荡监控等。镀膜方式也分多种工艺,常用的有离子蒸发镀膜和磁控溅射镀膜。
真空镀膜机是由真空炉体,真空泵,控制柜,真空计,冷却系统等部件组成,真空驴体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
根据工艺要求选择不同规格及类型真空镀膜机,其类型有电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等。
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