真空镀膜机的操作注意事项
4、检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固，角部有无弯曲翘曲等变形情况；
5、检查水压、气压是否正常；水、油、气是否有漏滴现象；
6、设备中途停水时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，电子纳米镀膜设备厂家，让维持泵继续运行；
7、设备中途停气时，电子纳米镀膜设备销售，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行；
8、设备中途停电时，应立即关总电源，电子纳米镀膜设备，后关扩散泵、粗抽泵、维持泵；
9、扩散泵加热时，避免身体接触扩散泵加热炉、以免；
真空镀膜设备由许多不同的零件组成，它们都是经过各种机械加工完成的，例如车铣、刨、磨、镗、焊接等。这样，零件表面不可避免地会沾上许多加工油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物。这些污染物在真空中易挥发，影响真空镀膜设备的极限压力和性能稳定性。此外，污染物在大气压下吸附了大量的气体，在真空环境中，这些气体也要被释放出来，构成了限制真空镀膜设备极限压力的因素。为此，零件组装前必须清除掉污染物。
真空镀膜设备主要指需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
根据工艺要求选择不同规格及类型镀膜设备，其类型有电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等。
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