随着信息产业的不断发展,磁性元件越来越趋向于小型化,3-5㎜的软磁芯,2-3㎜的稀土永磁材料,甚至尺寸更小的磁材都不断被应用,电子纳米镀膜,对磁材的防护提出了新的要求。小型软磁芯作饶线器件时,经聚对二涂敷后能耐1500-2000V甚至更高的电压,由于聚对二摩擦系数低,饶成操会更滑溜,不伤线,更便于操作,稀土钕铁硼永磁材料是一种强磁材料,但这种材料在空气中很不稳定,尺寸较大的通常用电镀或环氧电泳漆作防护涂层,尺寸较小的磁材,特别是环型和筒形的磁材,已不能用上述传统方法实现可靠防护,满足使用要求。Parylene的制备工艺和优异性能相结合,使它能对小型超小型磁材进行无薄弱点全涂敷的磁材可浸盐酸10天以上不腐蚀,目前国际上小型超小型磁材,几乎都采用Parylene作绝缘和防护涂层。
一代光学镀膜原理
抗磨损膜始于20世纪70年代初,当时认为玻璃镜片不易磨制是因为其硬度高,而有机镜片则太软所以容易磨损。因此将石英材料于真空条件下镀在有机镜片表面,形成一层非常硬的抗磨损膜,但由于其热胀系数与片基材料的不匹配,很容易脱膜和膜层脆裂,电子纳米镀膜哪家好,因此抗磨损效果不理想。
二代光学镀膜原理
20世纪80年代以后,电子纳米镀膜技术哪家好,研究人员从理论上发现磨损产生的机理不仅仅与硬度相关,膜层材料具有“硬度/形变”的双重特性,电子纳米镀膜加工,即有些材料的硬度较高,但变形较小,而有些材料硬度较低,但变形较大。第二代的抗磨损膜技术就是通过浸泡工艺法在有机镜片的表面镀上一种硬度高且不易脆裂的材料。
微电子集成电路Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
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